聚焦离子束电子束双束显微镜中标结果公告 天天播资讯
2023-06-16
机电产品招标投标电子交易平台 2023-06-16 12:12:25
项目名称:北京怀柔实验室 2023年第二批科研设备采购项目
项目编号:1495-234thhrlab02/03
(相关资料图)
招标范围:产品名称:聚焦离子束电子束双束显微镜 数量:1台 简要技术规格:聚焦离子束电子束双束显微镜(FIB-SEM)是一种半导体检测设备,具体规格如下: 1)用于晶圆上各项工艺后的形貌观察及纳米级检测(SEM),电子束束流满足Min.小于等于1pA; 2)用于实现对样品进行离子束切割加工功能(FIB),离子束束流满足Min.小于等于1pA; 3)用于实现三维形貌观察分析; 4)用于实现电路修复; 5)用于实现EDS及EBIC功能; 6)适用于6英寸及以下晶圆。
招标机构:天恒招标有限公司
招标人:北京怀柔实验室
开标时间:2023-06-08 09:30
公示时间:2023-06-12 18:18 - 2023-06-15 23:59
中标结果公告时间:2023-06-16 11:08
中标人:恒裕通有限公司
制造商:Thermo Fisher Scientific Brno s.r.o/Bruker Nano GmbH/point electronic GmbH
制造商国家或地区:捷克